¡¡¡¡×îз¢Ã÷ÓëÁ¢Òì ¡¡¡¡¿Æ¼¼ÈÕ±¨Ñ¶ (¼ÇÕß³Âè¤)¸ßÐÔÄܶúÎÂǹ¡¢¶îÎÂǹµÈ·Ç½Ó´¥Ê½²âι¤¾ßÊÇÄ¿½ñ¶Ô´ó¹æÄ£ÈËÔ±½øÐз¢ÈÈɸ²éµÄÖ÷Òª¹¤¾ßÖ®Ò»£¬Æä½¹µã²¿¼þMEMS(΢»úµçϵͳ)ºìÍâζȴ«¸ÐÆ÷ºã¾ÃÖ÷ÒªÒÀÀµ½ø¿Ú¡£½üÈÕ£¬Öйúk8¿·¢ÌìÉúÓ®¼Ò¹¤Òµ¼¯Íŵç×ÓÔº»ª¶«¹âµç¼¯³ÉÆ÷¼þÑо¿Ëùͨ¹ý¼¼Êõ¹¥¹Ø£¬ÒÑÍê³É´«¸ÐÆ÷оƬÖÖÖÖµ¥ÏîÊÔÑ飬ÐÔÄÜÖ¸±ê¾«¶ÈµÖ´ï0.1¡æ£¬¿¹×ÌÈÅÄÜÁ¦ÓÅÓÚÄ¿Ç°Êг¡Ö÷Á÷²úÆ·(ÐÔÄÜÖ¸±ê¾«¶ÈΪ0.3¡æ)¡£ ¡¡¡¡ÒòÒßÇé·À¿Ø¡¢¸´¹¤¸´²úÐèÒª£¬¸ßÐÔÄܶúÎÂǹºÍ¶îÎÂǹµÈ·Ç½Ó´¥Ê½ÈËÌå²âι¤¾ßMEMSºìÍâ´«¸ÐÆ÷ÓÐÁËÉÏ°ÙÍò¿ÅµÄ¶©»õÐèÇó¡£»ª¶«¹âµç¼¯³ÉÆ÷¼þÑо¿Ëù×Ô1Ôµ׽ô¼±µ÷½â²úÆ·ÑÐÖƼƻ®£¬ÌáÇ°¸´¹¤¸´²ú£¬×齨µ³Ô±Í»»÷¶ÓºÍ¼¼Êõ¹¥¹ØС×飬24Сʱ²»¼ä¶ÏÂְ࿪չÑÐÖÆÊÂÇ飬ĿǰÒÑÍê³É´«¸ÐÆ÷оƬÖÖÖÖµ¥ÏîÊÔÑ飬Ԥ¼ÆÔÚ3Ôµ×Íê³ÉоƬÑùÆ·ÑÐÖÆ¡£Í¬Ê±¸ÃËù»¹²É¹ºÈ«×Ô¶¯»¯×é·â×°Òªº¦É豸¡¢Ôö²¹Ð¾Æ¬ÖÆÔìµÄÒªº¦É豸£¬Íƶ¯´«¸ÐÆ÷оƬÖÆÔì¡¢×é·â×°µÄ¹ú²ú»¯£¬Ô²úÄÜ´ÓÄ¿Ç°µÄ2Íò¿ÅÌáÉýµ½100Íò¿ÅÒÔÉÏ£¬4Ô³õ¿É´ó×ÚͶ·ÅÊг¡¡£ ¡¡¡¡×÷Ϊ¹ú¼Ò·¢¸ÄίMEMS¹ú¼ÒµØ·½ÁªºÏ¹¤³ÌʵÑéÊÒºÍk8¿·¢ÌìÉúÓ®¼Ò¹¤Òµ¼¯ÍÅ΢ϵͳÖÆÔì¼¼ÊõÁ¢ÒìÖÐÐÄ£¬»ª¶«¹âµç¼¯³ÉÆ÷¼þÑо¿Ëù¾ßÓÐMEMS´«¸ÐÆ÷оƬÉè¼Æ¡¢ÖÆÔì¡¢·â×°¡¢²âÊÔµÈÍêÕûµÄ¿ÆÑÐÄÜÁ¦£¬Í¨¹ý¼¼ÊõÁ¢ÒìÈ¡µÃMEMS´«¸ÐÆ÷¶àÏî¼¼Êõ½á¹û£¬ÏÂÒ»²½½«¿ª·¢Ïà¹Ø²âβúÆ·£¬Âú×ãÒßÇé·À¿Ø¡¢¸´¹¤¸´²úµÈ¸ß¾«¶ÈÈËÌå²âÎÂÐèÒª¡£ ¼ì²ìÔÎÄ |